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型号 | 洁净氮气柜 |
产品图 | |
外寸 | W1300mm*H2180mm*D850mm |
内寸 | W1200mm*H1535mm*D625mm |
柜门数量及高度 | 8个,487.5mm/352.5mm/352.5mm/352.5mm |
湿度控制范围/精度 | 1%~50%RH, ±3.0%RH |
柜内FFU过滤效率 | ≥99.9999%@0.1-0.2um |
柜内洁净度等级 | ISO Class 3级(≦237ea@0.3 um & 102ea@0.2um/立方米) |
柜内TDH返颗粒 | 2ea@0.3um&5ea@0.2um@2~4h |
柜内静电残余值 | ≦100V@1min |
柜内除湿速率 | 50%RH-10%RH@1h |