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首页  ꄲ  半导体用氮气柜  ꄲ  CLASS3洁净柜  ꄲ  无尘室等级洁净氮气柜

 

 

 

 

 

 

►►产品特色

 

 

柜内洁净度:最高度可达CLASS 3级
风速均匀性: 洁净柜内无气流死角，柜内各点风速均匀无较大差异 (0.2-0.45m/sec)
TDH返颗粒: 产品表面平均颗粒数对比<5ea (0.2um和0.3um都不能超过5颗)，除首片和最末片
其余硅片上0.2um和0.3um的颗粒最大增加均不能超过8颗
柜内的湿度:控制精度3% RH
降湿的速度:
30分钟内可从环境湿度降至10%RH (85L/min)
除静电效果:经过干燥2小时后，产品表面5点取样及定点测试静电值<1KV
采用独特的模块化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速安装、维护及升级。

 

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无尘室等级洁净氮气柜

半导体制程从裸芯片到晶圆材料保存，对于洁净度的要求严格，若有微小微粒以及氧化物存在，会污染到晶圆，高强洁净柜可达Class3之洁净度，采用进口HEPA Fiter过滤并符合氮气节能设计要求及静电控制规范，箱体内部均采无尘化配件及材料目前已应用于晶圆制造大厂的晶圆材料保存及 晶舟盒的无尘干燥。
  • 外部尺寸(mm)
    W1300 x D850 x H2180
  • 内部尺寸(mm)
    W1200 x D625 x H1535
  • 湿度范围/精度
    1%~50%RH, ±3.0%RH
  • 柜内洁净度等级
    ISO Class 3级（≦237ea@0.3 um & 102ea@0.2um/立方米）