半导体制程从裸芯片到晶圆材料保存,对于洁净度的要求严格,若有微小微粒以及氧化物存在,会污染到晶圆,高强洁净柜可达Class3之洁净度,采用进口HEPA Fiter过滤并符合氮气节能设计要求及静电控制规范,箱体内部均采无尘化配件及材料目前已应用于晶圆制造大厂的晶圆材料保存及 晶舟盒的无尘干燥。